Low Frequency 4 Gateway CIDRW Controller für Halbleiterunterstützung. Mehrere angeschlossene Lesegeräte

Anwendungen

Halbleiter-Wafer-Kassetten werden mit automatisierten Laufkränen transportiert, während die Wafer-Ladevorrichtung LoadPort ein schnelles Andocken von Wafer-Kassetten zwischen Laufkran und Produktionsausrüstung ermöglicht.

• E-Rack Foup-Identifikation

• Loadport: Foup-Identifikation

• Foup Stocker: Foup-Identifizierung

• AMR/AGV

• OHB: Foup Identificaiton

• OHB: Stationsidentifikation

  
  

RFID-Produkte werden in der Halbleiterindustrie in allen Phasen der Produktion, des Transports und der Lagerung eingesetzt : 

A: Rückverfolgbarkeit des Produktionsprozesses – Das Halbleiter-CIDRW-Lesegerät kann die Produktionsinformationen auf dem TI-Glaskapseletikett auf der Waferkassette schnell und genau identifizieren, einschließlich Herstellungsdatum, Herstellungsprozess und Produkttyp, und ermöglicht so eine vollständige Prozessverfolgung und -verwaltung des Produktionsprozesses

B: Identifizierung des Handhabungsprozesses – Ein Halbleiter-CIDRW-Lesegerät liest die Informationen der CID-Tag-Station auf der Laufkranbahn, überwacht die Echtzeitposition des Krans und plant und schickt Routen basierend auf seinem eigenen Standort, um sichere Betriebsabstände und Transporteffizienz zu gewährleisten. 

C: Kassettenspeicherverwaltung – Ein Halbleiter-CIDRW-Lesegerät, installiert in einem E-Rack oder Wafer-Kassettenlager, identifiziert die spezifische Lagerzeit, Entnahmezeit und den Lagerort einer Wafer-Kassette in Echtzeit. Über das Verwaltungssystem kann der Lagerort der gewünschten Waferkassette außerdem schnell und genau lokalisiert werden.