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E-Rack Foup Identification134.2Khz LF RFID-Leser
E-Rack Foup Identification134.2Khz LF RFID-Leser E-Rack Foup Identification134.2Khz LF RFID-Leser
ISO 11784/11785 Protokoll LF RFID-Leser, stoßfest, 2 mm, -40 °C bis 85 °C Aluminium ISO 11784/11785 Protokoll LF RFID-Leser, stoßfest, 2 mm, -40 °C bis 85 °C Aluminium
ISO 11784/11785 Protokoll LF RFID-Leser, stoßfest, 2 mm, -40 °C bis 85 °C Aluminium ISO 11784/11785 Protokoll LF RFID-Leser, stoßfest, 2 mm, -40 °C bis 85 °C Aluminium

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E-Rack Foup Identification134.2Khz LF RFID-Leser

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CIDRW für Halbleiter
Erack, Foup-Identifikation
Unterstützt Ethernet, RS485, RS232
  • RF-LC12097

Verfügbarkeit:
Menge:

Merkmale

Unabhängigkeit und Zuverlässigkeit: Jeder Hafen arbeitet unabhängig; Ein Ausfall oder eine Wartung eines Ports hat keine Auswirkungen auf andere Ports.

Einfache Verkabelung: Die Antenne wird direkt an einen Einkanalleser in einem nahegelegenen Schaltschrank angeschlossen, was die Verkabelung vereinfacht.

Kostenoptimierung: Bei Geräten mit nur 1 Port ist die Verwendung eines Einkanal-Lesegeräts wirtschaftlicher als die Verwendung eines Mehrkanal-Lesegeräts.

Unterstützung

  • Das System gilt für die folgenden SEMI-Standards:

  • SEMI E99 Carrier-ID-Lese-/Schreibstandard

  • SEMI E37 High-Speed ​​SECS Messaging Service Common Service (HSMS)

  • SEMI E5 Device Communication Standard 2 Nachrichteninhalt (SECS II)

  • SEMI E4 Device Communication Standard 1 Nachrichteninhalt (SECS I)

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Technische Parameter

Frequenz  134,2 kHz
Protokoll ISO 11784/11785
Stromspannung
9-30 VDC
Durchschnittlicher Strom <0,2A@24VDC
Kontrollleuchten 4 * LED
Antennenanschluss 1
Antennenschnittstelle BNC-Buchse
Kommunikationsschnittstelle Ethernet, RS485, RS232
Kommunikationsprotokoll SECS, Modbus TCP, Modbus RTU

Schalenmaterial

Aluminiumlegierung
Speichertemperatur -40°C bis +85°C
Betriebstemperatur -25°C bis +70°C
Abmessungen 120 * 97 * 27,5 mm
Frequenz 134,2 kHz
Schockfestigkeit 2 mm (f= 5…29,5 Hz), EN 60068-2-67 Gn (f= 29,5…150 Hz), EN 60068-2-6
Anwendung Zugangskontrolle, Tierverfolgung, Bestandsverwaltung
Wasserdicht IP20, EN 60529
Rohs 2011/65/EU, 2015/863/EU


Anwendungen

Eine Ätzmaschine, eine Anlage zur Dünnschichtabscheidung oder eine Mess- und Steuermaschine verfügt über einen oder mehrere unabhängige Ladeanschlüsse.


Konfiguration: Eine Antenne ist unterhalb oder seitlich jedes Ports eingebettet. Diese Antenne ist mit einem separaten Einkanal-Lese-/Schreibgerät verbunden.


Arbeitsablauf:

AMHS AGVs oder OHT-Kräne transportieren das FOUP zum Gerätehafen und senken es ab.

Das CID-Tag an der Unterseite des FOUP dringt in den Erfassungsbereich der Antenne ein (normalerweise einige Zentimeter bis mehrere zehn Zentimeter).

Das einkanalige Lese-/Schreibgerät wird ausgelöst und liest die eindeutige ID des Tags.

Das Lese-/Schreibgerät überträgt die ID in Echtzeit über Industrieprotokolle wie RS232, EtherNet oder RS-485 an das Automatisierungsprogramm der Anlage oder das übergeordnete Fertigungsausführungssystem.

EAP/MES überprüft, ob es sich bei der FOUP um die richtige Charge handelt, die von der aktuellen Maschine verarbeitet werden soll. Nach erfolgreicher Überprüfung öffnet sich die Porttür und der interne Roboterarm entnimmt den Wafer zur Bearbeitung.



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