In der hochpräzisen und hochkomplexen Produktionsumgebung der Halbleiterfertigung wirken sich die Genauigkeit der Rückverfolgbarkeit von Informationen und die Automatisierung von Produktionsprozessen direkt auf die Ausbeute und Effizienz aus; Herkömmliche manuelle Betriebsmethoden (z. B. das manuelle Auslösen des ID-Lesens nach dem Laden) sind nicht nur ineffizient, sondern bergen auch das Risiko von Datenfehlern.

Schwachstellen der Branche

★ Datenverzögerungen und Fehler durch manuelle Eingriffe

★ Unvollständige Rückverfolgbarkeit der Wafer-Verarbeitungsinformationen, was sich auf die Prozessoptimierung und abnormale Analyse auswirkt

★ Inkonsistente Kommunikationsprotokolle zwischen Geräten und deutliche Probleme mit Informationsinseln

Superisys-Lösung

Intelligentes Rückverfolgungssystem für Halbleiter-RFID

Bauen Sie eine vollautomatische Datenverbindung durch SECS/SEMI-Standardprotokolle in Kombination mit leistungsstarker RFID-Technologie auf, um Echtzeitverfolgung, Datentransparenz und intelligente Entscheidungsfindung im gesamten Waferproduktionsprozess zu erreichen.

Architekturdiagramm einer Halbleiter-RFID-Anwendungslösung

Automatischer Meldeprozess:

1. Schließen Sie RFID, IO-Modul, Sensor und dreifarbiges LED-Licht an.

2. Platzieren Sie die Waffelbox mit der Kapsel auf der Loadport-Maschine.

3. Nachdem der Maschinendrucksensor dies erkannt hat, wird das Eingangsende des E/A-Moduls ausgelöst.

4. Nachdem die RFID-Steuerbox den Eingang des IO-Moduls erkannt hat, liest sie aktiv die ID des

Wafer-Box-Kapsel und meldet diese nach erfolgreicher Auslesung an das EAP-System.

Anwendungseffekt

Kernvorteile

1. Genaue Identifizierung, aktive Berichterstattung

Integrieren Sie RFID-Tags in Industriequalität in LoadPort

(RF-LT-DR2B), kooperieren mit hochempfindlichen Lese-/Schreibköpfen (RF-LC12097) in jedem Prozessabschnitt und realisieren eine automatische Meldung der ID, wenn die Wafer-Box angebracht ist, wodurch die manuelle Auslösung vollständig ersetzt wird;

Millisekunden-Reaktion, um Daten in Echtzeit und Genauigkeit sicherzustellen.

2 Vollständige Rückverfolgbarkeit des Prozesses, geschlossener Datenkreislauf

Echtzeiterfassung von Waferverarbeitungstechnologie und Prozessdaten sowie nahtlose Verbindung mit dem MES/ERP-System zum Aufbau einer vollständigen Produktionsinformationsdatenbank;

Unterstützen Sie die Vorwärtsverfolgbarkeit (aktueller Prozessstatus) und die Rückverfolgbarkeit (historischer Prozesspfad), um die Grundursache von Anomalien schnell zu lokalisieren.

3. SECS/SEMI standardisierte Integration

Basierend auf dem SECS/GEM-Protokoll wird eine effiziente Kommunikation zwischen Geräten erreicht, Informationssilos aufgebrochen und die Systemkompatibilität und Skalierbarkeit verbessert;

Halten Sie die internationalen SEMI-Standards ein, um die Universalität und Zuverlässigkeit der Lösung in der Halbleiterindustrie sicherzustellen.