En el entorno de producción de alta precisión y complejidad de la fabricación de semiconductores, la precisión de la trazabilidad de la información y la automatización de los procesos de producción afectan directamente el rendimiento y la eficiencia; Los métodos de operación manual tradicionales (como activar manualmente la lectura de ID después de la carga) no solo son ineficientes, sino que también conllevan el riesgo de errores de datos.

Puntos débiles de la industria

★ Retrasos en los datos y errores causados ​​por la intervención manual

★ Trazabilidad incompleta de la información de procesamiento de obleas, lo que afecta la optimización del proceso y el análisis anormal

★ Protocolos de comunicación inconsistentes entre dispositivos y problemas destacados de islas de información

solución superisys

Sistema de trazabilidad inteligente RFID semiconductor

Cree un enlace de datos totalmente automatizado a través de protocolos estándar SECS/SEMI, combinados con tecnología RFID de alto rendimiento, para lograr seguimiento en tiempo real, transparencia de datos y toma de decisiones inteligente de todo el proceso de producción de obleas.

Diagrama de arquitectura de la solución de aplicación RFID semiconductora

Proceso de informes automático:

1. Conecte RFID, módulo IO, sensor y luz LED tricolor;

2. Coloque la caja de oblea con la cápsula en la máquina del puerto de carga;

3. Después de que el sensor de presión de la máquina lo detecta, se activa el extremo de entrada del módulo IO;

4. Después de que la caja de control RFID detecta la entrada del módulo IO, lee activamente el ID del

cápsula de la caja de oblea y lo informa al sistema EAP después de una lectura exitosa.

Efecto de aplicación

Ventajas principales

1. Identificación precisa, informes activos

Integre etiquetas RFID de grado industrial en LoadPort

(RF-LT-DR2B), coopera con cabezales de lectura/escritura de alta sensibilidad (RF-LC12097) en cada sección del proceso y realiza informes automáticos de identificación cuando la caja de oblea está en su lugar, reemplazando completamente la activación manual;

Respuesta de milisegundos para garantizar datos precisos y en tiempo real.

2 Trazabilidad de todo el proceso, circuito cerrado de datos

Recopilación en tiempo real de tecnología de procesamiento de obleas y datos de proceso, y conexión perfecta con el sistema MES/ERP para crear una base de datos de información de producción completa;

Admite la trazabilidad directa (estado actual del proceso) y la trazabilidad inversa (ruta histórica del proceso) para ayudar a localizar rápidamente la causa raíz de las anomalías.

3. Integración estandarizada SECS/SEMI

Basado en el protocolo SECS/GEM, se logra una comunicación eficiente entre dispositivos, se rompen los silos de información y se mejora la compatibilidad y escalabilidad del sistema;

Cumplir con los estándares internacionales SEMI para garantizar la universalidad y confiabilidad de la solución en la industria de semiconductores.