Dans l'environnement de production de haute précision et de haute complexité de la fabrication de semi-conducteurs, l'exactitude de la traçabilité des informations et l'automatisation des processus de production affectent directement le rendement et l'efficacité ; les méthodes d'opération manuelles traditionnelles (telles que le déclenchement manuel de la lecture d'identité après le chargement) sont non seulement inefficaces, mais présentent également un risque d'erreurs de données.

Points faibles de l’industrie

★ Retards de données et erreurs causés par une intervention manuelle

★ Traçabilité incomplète des informations sur le traitement des plaquettes, affectant l'optimisation du processus et l'analyse des anomalies

★ Protocoles de communication incohérents entre les appareils et problèmes importants d'îlot d'informations

Solution Supersys

Système de traçabilité intelligent RFID à semi-conducteurs

Créez une liaison de données entièrement automatisée via les protocoles standard SECS/SEMI, combinés à une technologie RFID haute performance, pour obtenir un suivi en temps réel, une transparence des données et une prise de décision intelligente de l'ensemble du processus de production de plaquettes.

Schéma d'architecture de la solution d'application RFID à semi-conducteurs

Processus de reporting automatique :

1. Connectez la RFID, le module IO, le capteur et la lumière tricolore LED ;

2. Placez la boîte à plaquettes avec la capsule sur la machine du port de chargement ;

3. Une fois que le capteur de pression de la machine l'a détecté, l'extrémité d'entrée du module IO est déclenchée ;

4. Une fois que le boîtier de contrôle RFID a détecté l'entrée du module IO, il lit activement l'ID du

capsule de boîte de plaquette et la signale au système EAP après une lecture réussie.

Effet d'application

Avantages essentiels

1. Identification précise, reporting actif

Intégrez des étiquettes RFID de qualité industrielle dans LoadPort

(RF-LT-DR2B), coopérer avec des têtes de lecture/écriture haute sensibilité (RF-LC12097) dans chaque section de processus et réaliser un rapport automatique de l'ID lorsque la boîte de plaquettes est en place, remplaçant complètement le déclenchement manuel ;

Réponse en millisecondes pour garantir la précision et le temps réel des données.

2 Traçabilité complète du processus, boucle fermée des données

Collecte en temps réel de la technologie de traitement des plaquettes et des données de processus, et connexion transparente avec le système MES/ERP pour créer une base de données complète d'informations sur la production ;

Prend en charge la traçabilité aval (état actuel du processus) et la traçabilité inverse (chemin historique du processus) pour aider à localiser rapidement la cause première des anomalies.

3. Intégration standardisée SECS/SEMI

Basé sur le protocole SECS/GEM, une communication efficace entre les appareils est obtenue, les silos d'informations sont brisés et la compatibilité et l'évolutivité du système sont améliorées ;

Se conformer aux normes internationales SEMI pour garantir l'universalité et la fiabilité de la solution dans l'industrie des semi-conducteurs.