Polovodičová RFID řešení pro chytrou výrobu

Ve vysoce přesném a složitém prostředí výroby polovodičů přesnost sledovatelnosti informací a automatizace výrobních procesů přímo ovlivňují výtěžnost a efektivitu. Tradiční manuální operace (jako je spouštění čtení ID po načtení materiálů) nejen zpomalují operace, ale také s sebou nesou riziko chyb v datech. Technologie RFID nabízí řešení, které zvyšuje přesnost procesu, zlepšuje sledovatelnost a automatizuje kritické kroky ve výrobě polovodičů.

Průmyslové výzvy:

• Zpoždění dat a chyby způsobené ručním zásahem.

• Neúplná sledovatelnost informací o zpracování waferů, ovlivňující optimalizaci procesu a analýzu anomálií.

• Nedostatek standardních komunikačních protokolů mezi zařízeními, což vede k informačním silám a neefektivitě.

Řešení Superisys: Polovodičový systém RFID Intelligent Traceability System

Superisys integruje standardní protokoly SECS/SEMI s vysokým výkonem Technologie RFID k vytvoření plně automatizovaného datového spojení pro výrobu plátků. Toto řešení umožňuje sledovatelnost v reálném čase , transparentnost dat a inteligentní rozhodování v celém výrobním procesu.

Automatizovaný proces hlášení:

1. Připojte RFID , IO moduly, senzory a LED světla.

2. Umístěte krabici na oplatky obsahující kapsle na LoadPort.

3. Jakmile tlakový senzor stroje detekuje přítomnost waferu, IO modul spustí vstup.

4. Ovladač RFID detekuje vstup z IO modulu, čte ID kapsle a hlásí data do systému EAP.

Aplikace RFID pro sledování informací o waferech

V této aplikaci jsou RFID čipy , jako je RF-LT-DR2B , instalovány na LoadPort , přičemž zařízení RFID řadiče ( RF-LC12097 ) a RFID čtečky ( RF-LA5010 ). v každém kroku procesu jsou umístěny Jak wafery procházejí různými fázemi, RFID čtečky přesně identifikují informace spojené s každým waferem a nahrávají je do ERP systému , čímž zajišťují bezproblémovou integraci s výrobním zařízením, transparentní přenos dat a správné zacházení s anomáliemi.

Nízkofrekvenční řešení RFID:

• RF-LC12097 (průmyslový RFID ovladač)

• RF-LA5010 (průmyslová čtečka RFID)

• RF-LT-DR2B (průmyslový štítek RFID)

Cíle aplikace:

• Eliminujte ruční čtení ID : Namísto ručního spouštění čtení ID systém RFID automaticky hlásí ID, když krabice na destičky dosáhne správné polohy.

• Kompletní sledovatelnost procesu : Systém zachycuje procesní data a integruje je s ERP systémem pro transparentní sledování každé cesty waferu.

Efekty aplikace:

• Zlepšení výnosu : Minimalizujte lidskou chybu a zajistěte 100% sledovatelnost procesních dat.

• Snižte náklady a zvyšte efektivitu : Plná automatizace sběru dat snižuje mzdové náklady a urychluje výrobní cykly.

• Umožněte inteligentní rozhodování : Řídicí panely v reálném čase pomáhají s optimalizací procesů a prediktivní údržbou.

Hlavní výhody:

1. Přesná identifikace a aktivní hlášení RFID tag
   RF -LT-DR2B integrovaný v LoadPort automaticky hlásí ID, když je wafer box na svém místě. To nahrazuje ruční spouštění a zajišťuje přesnost dat v reálném čase s odezvou na úrovni milisekund.

2. Sledovatelnost celého procesu a uzavření dat
   Shromažďování dat o zpracování waferů v reálném čase a bezproblémová integrace se systémy MES/ERP vytváří komplexní databázi informací o výrobě. Systém podporuje jak dopřednou sledovatelnost (aktuální stav procesu), tak zpětnou sledovatelnost (historické cesty procesu), což pomáhá rychle lokalizovat hlavní příčinu anomálií.

3. Standardní integrace SECS/SEMI
   Pomocí protokolů SECS/GEM systém umožňuje efektivní komunikaci mezi zařízeními, prolomení informačních sil a zlepšení kompatibility a škálovatelnosti systému. To zajišťuje shodu s mezinárodními standardy SEMI , díky čemuž je řešení univerzálně použitelné a spolehlivé v polovodičovém průmyslu.

Popis protokolu/standardu	Odpovídající	standard SEMI
SEM	Věnovaná karta	SEMI E82 / E88 / ...
KLENOT	Akce při přijímání zpráv	SEMI E30
SECS-II	Protokol zápisu	SEMI E5
SECS-I	HSMS	SEMI E4 / E37 (E-mail)

Model produktu	RF-LC12097	RF-LC103145-2ANT	RF-LC103145-4ANT	RF-LC164210-16ANT
Provozní frekvence	134,2 kHz	134,2 kHz	134,2 kHz	134,2 kHz
Provozní režim	HDX	HDX	HDX	HDX
Bezdrátový protokol	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785
Napájecí napětí	9~30VDC	9~30VDC	9~30VDC	9~30VDC
Průměrný proud	<0,2A@24VDC	<0,2A@24VDC	<0,2A@24VDC	<0,2A@24VDC
LED indikátory	4 LED diody	4 běžící LED diody + 2 anténní LED diody	4 běžící LED diody + 4 anténní LED diody	4 běžící LED + 16 anténních LED
Anténní porty	1	2	4	16
Typ rozhraní antény	BNC žena	BNC žena	BNC žena	2P svorkovnice s roztečí 5,0 mm
Komunikační rozhraní	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232
Komunikační protokol	SECS	SECS	SECS	SECS
Rozměry tvaru	MODBUS TCP	MODBUS TCP	MODBUS TCP	MODBUS TCP
Typ montáže	MODBUS RTU	MODBUS RTU	MODBUS RTU	MODBUS RTU
Materiál bydlení	Hliníková slitina	Hliníková slitina	Hliníková slitina	Hliníková slitina
Barva bydlení	Šedá	Černý	Černý	Černý
Provozní teplota	-25 °C ~ 70 °C	-25 °C ~ 70 °C	-25 °C ~ 70 °C	-25 °C ~ 70 °C
Skladovací teplota	-40 °C ~ 85 °C	-40 °C ~ 85 °C	-40 °C ~ 85 °C	-40 °C ~ 85 °C
Vlhkost	5%~95%RH (nekondenzující)	5%~95%RH (nekondenzující)	5%~95%RH (nekondenzující)	5%~95%RH (nekondenzující)
Imunita proti elektrostatickému výboji (SED)	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529
Soulad s RoHS	2 mm (f=5...29,5Hz)	2 mm (f=5...29,5Hz)	2 mm (f=5...29,5Hz)	2mm (f=5...29,5Hz)

Model produktu	RF-LA5010
Provozní frekvence	134,2 kHz
Typ rozhraní antény	Muž BNC
Typ kabelu	Koaxiální kabel
Délka kabelu	2 metry
Rozměry	50 * 28 * 10 mm
Typ montáže	4 otvory pro šrouby M3
Materiál bydlení	PC + ABS
Barva bydlení	Černý
Provozní teplota	-25 °C ~ 70 °C
Skladovací teplota	-25 °C ~ 85 °C
Vlhkost	5%~95% RH (nekondenzující)
Hodnocení voděodolnosti a prachu	IP67, EN 60529
Odolnost proti vibracím	2mm (f=5...29,5Hz), EN 60068-2-6
Soulad s RoHS	7gn (f=29,5...150Hz), EN 60068-2-6

Model produktu	RF-LA5010
Rozměry	3,85 * 32,2 mm
Materiál bydlení	Sklo
Hodnocení ochrany	IP68
Provozní teplota	0 °C ~ 70 °C
Skladovací teplota	-40 °C ~ 125 °C
Provozní frekvence	134,2 kHz
Protokol vzdušného rozhraní	ISO 11784, ISO 11785
Provozní režim	HDX (Half-Duplex)
Paměť	1360 bitů
Uživatelská paměť	17 stran * 80 bitů
Cykly zápisu/mazání	100 000 cyklů

Produkty pro polovodičový průmysl

Superisys poskytuje RFID řešení navržená tak, aby splňovala specifické potřeby polovodičového průmyslu, včetně vysoce spolehlivých integračních řešení RFID+SECS/GEM . S nástupem Průmyslu 4.0 a digitalizací výroby polovodičů se technologie RFID stává základní infrastrukturou pro inteligentní výrobu wafer fabs a rozhodování na základě dat.