Halbleiter-RFID-Lösungen für die intelligente Fertigung

Im hochpräzisen und komplexen Umfeld der Halbleiterfertigung wirken sich die Genauigkeit der Rückverfolgbarkeit von Informationen und die Automatisierung von Produktionsprozessen direkt auf Ertrag und Effizienz aus. Herkömmliche manuelle Vorgänge (z. B. das Auslösen von ID-Lesevorgängen nach dem Laden von Materialien) verlangsamen nicht nur den Betrieb, sondern bergen auch das Risiko von Datenfehlern. Die RFID-Technologie bietet eine Lösung, die die Prozesspräzision erhöht, die Rückverfolgbarkeit verbessert und kritische Schritte in der Halbleiterproduktion automatisiert.

Herausforderungen für die Branche:

• Datenverzögerung und Fehler aufgrund manueller Eingriffe.

• Unvollständige Rückverfolgbarkeit der Informationen zur Waferverarbeitung, was sich auf die Prozessoptimierung und Anomalieanalyse auswirkt.

• Fehlende Standardkommunikationsprotokolle zwischen Geräten führen zu Informationssilos und Ineffizienzen.

Superisys-Lösung: Intelligentes Rückverfolgungssystem für Halbleiter-RFID

Superisys integriert SECS/SEMI -Standardprotokolle mit hoher Leistung RFID-Technologie zur Herstellung einer vollautomatischen Datenverbindung für die Waferproduktion. Diese Lösung ermöglicht Echtzeit-Rückverfolgbarkeit , Datentransparenz und intelligente Entscheidungsfindung im gesamten Produktionsprozess.

Automatisierter Meldeprozess:

1. Verbinden Sie RFID , IO-Module, Sensoren und LED-Leuchten.

2. Platzieren Sie die Waffelbox mit den Kapseln auf dem LoadPort.

3. Sobald der Drucksensor der Maschine die Anwesenheit des Wafers erkennt, löst das IO-Modul den Eingang aus.

4. Der RFID-Controller erkennt die Eingabe vom IO-Modul, liest die Kapsel-ID und meldet die Daten an das EAP-System.

RFID-Anwendung zur Rückverfolgbarkeit von Waferinformationen

In dieser Anwendung werden RFID-Chips wie RF-LT-DR2B auf installiert LoadPort -Geräten , wobei RFID-Controller ( RF-LC12097 ) und RFID-Lesegeräte ( RF-LA5010 ) platziert werden. bei jedem Prozessschritt Während sich Wafer durch verschiedene Phasen bewegen, identifizieren RFID-Lesegeräte genau die mit jedem Wafer verbundenen Informationen und laden sie in das ERP-System hoch . Dadurch wird eine nahtlose Integration mit Produktionsanlagen, eine transparente Datenübertragung und eine ordnungsgemäße Behandlung von Anomalien gewährleistet.

Niederfrequenz-RFID-Lösung:

• RF-LC12097 (Industrieller RFID-Controller)

• RF-LA5010 (Industrielles RFID-Lesegerät)

• RF-LT-DR2B (Industrielles RFID-Tag)

Anwendungsziele:

• Eliminieren Sie die manuelle ID-Lesung : Anstatt die ID-Lesung manuell auszulösen, meldet das RFID-System automatisch die ID, wenn die Wafer-Box die richtige Position erreicht.

• Vollständige Rückverfolgbarkeit des Prozesses : Das System erfasst Prozessdaten und integriert sie in das ERP-System für eine transparente Verfolgung der Reise jedes Wafers.

Anwendungseffekte:

• Verbessern Sie den Ertrag : Minimieren Sie menschliche Fehler und stellen Sie eine 100-prozentige Rückverfolgbarkeit der Prozessdaten sicher.

• Reduzieren Sie Kosten und verbessern Sie die Effizienz : Die vollständige Automatisierung der Datenerfassung senkt die Arbeitskosten und beschleunigt die Produktionszyklen.

• Ermöglichen Sie eine intelligente Entscheidungsfindung : Echtzeit-Dashboards unterstützen bei der Prozessoptimierung und vorausschauenden Wartung.

Kernvorteile:

1. Präzise Identifizierung und aktive Berichterstattung
   Der RF-LT-DR2B im LoadPort integrierte RFID-Tag meldet automatisch die ID, wenn die Wafer-Box angebracht ist. Dies ersetzt die manuelle Auslösung und gewährleistet Echtzeit-Datengenauigkeit mit einer Reaktion im Millisekundenbereich.

2. Vollständige Rückverfolgbarkeit und Datenschließung durch den gesamten Prozess.
   Durch die Echtzeiterfassung von Waferverarbeitungsdaten und die nahtlose Integration mit MES/ERP-Systemen entsteht eine umfassende Produktionsinformationsdatenbank. Das System unterstützt sowohl die Vorwärtsverfolgbarkeit (aktueller Prozessstatus) als auch die Rückverfolgbarkeit (historische Prozesspfade) und hilft so, die Grundursache von Anomalien schnell zu lokalisieren.

3. SECS/SEMI-Standardintegration
   Durch die Verwendung von SECS/GEM-Protokollen ermöglicht das System eine effiziente Kommunikation zwischen Geräten, bricht Informationssilos auf und verbessert die Systemkompatibilität und Skalierbarkeit. Dies stellt die Einhaltung der internationalen SEMI-Standards sicher und macht die Lösung universell einsetzbar und zuverlässig in der Halbleiterindustrie.

Protokoll-/Standardbeschreibung	Entsprechender	SEMI-Standard
SEM	Spezielle Karte	SEMI E82 / E88 / ...
JUWEL	Aktion beim Empfangen von Nachrichten	SEMI E30
SECS-II	Schreibprotokoll	SEMI E5
SECS-I	HSMS	SEMI E4 / E37 (E-Mail)

Produktmodell	RF-LC12097	RF-LC103145-2ANT	RF-LC103145-4ANT	RF-LC164210-16ANT
Betriebsfrequenz	134,2 kHz	134,2 kHz	134,2 kHz	134,2 kHz
Betriebsart	HDX	HDX	HDX	HDX
Drahtloses Protokoll	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785
Netzspannung	9~30 VDC	9~30 VDC	9~30 VDC	9~30 VDC
Durchschnittlicher Strom	<0,2A@24VDC	<0,2A@24VDC	<0,2A@24VDC	<0,2A@24VDC
LED-Anzeigen	4 LEDs	4 Lauf-LEDs + 2 Antennen-LEDs	4 Lauf-LEDs + 4 Antennen-LEDs	4 Lauf-LEDs + 16 Antennen-LEDs
Antennenanschlüsse	1	2	4	16
Antennenschnittstellentyp	BNC-Buchse	BNC-Buchse	BNC-Buchse	2P-Klemmenblock mit 5,0 mm Rastermaß
Kommunikationsschnittstelle	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232
Kommunikationsprotokoll	SECS	SECS	SECS	SECS
Formabmessungen	MODBUS TCP	MODBUS TCP	MODBUS TCP	MODBUS TCP
Montageart	MODBUS RTU	MODBUS RTU	MODBUS RTU	MODBUS RTU
Gehäusematerial	Aluminiumlegierung	Aluminiumlegierung	Aluminiumlegierung	Aluminiumlegierung
Gehäusefarbe	Grau	Schwarz	Schwarz	Schwarz
Betriebstemperatur	-25°C ~ 70°C	-25°C ~ 70°C	-25°C ~ 70°C	-25°C ~ 70°C
Lagertemperatur	-40°C ~ 85°C	-40°C ~ 85°C	-40°C ~ 85°C	-40°C ~ 85°C
Luftfeuchtigkeit	5 % ~ 95 % relative Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend)	5 % ~ 95 % relative Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend)	5 % ~ 95 % relative Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend)	5 % ~ 95 % relative Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend)
Immunität gegen elektrostatische Entladung (SED)	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529
RoHS-Konformität	2mm (f=5...29,5Hz)	2mm (f=5...29,5Hz)	2mm (f=5...29,5Hz)	2 mm (f=5...29,5 Hz)

Produktmodell	RF-LA5010
Betriebsfrequenz	134,2 kHz
Antennenschnittstellentyp	BNC-Stecker
Kabeltyp	Koaxialkabel
Kabellänge	2 Meter
Abmessungen	50 * 28 * 10 mm
Montageart	4 M3-Schraubenlöcher
Gehäusematerial	PC + ABS
Gehäusefarbe	Schwarz
Betriebstemperatur	-25°C ~ 70°C
Lagertemperatur	-25°C ~ 85°C
Luftfeuchtigkeit	5 % ~ 95 % relative Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend)
Wasser- und staubdicht	IP67, EN 60529
Vibrationsfestigkeit	2mm (f=5...29,5Hz), EN 60068-2-6
RoHS-Konformität	7gn (f=29,5...150Hz), EN 60068-2-6

Produktmodell	RF-LA5010
Abmessungen	3,85 * 32,2 mm
Gehäusematerial	Glas
Schutzklasse	IP68
Betriebstemperatur	0°C ~ 70°C
Lagertemperatur	-40 °C ~ 125 °C
Betriebsfrequenz	134,2 kHz
Luftschnittstellenprotokoll	ISO 11784, ISO 11785
Betriebsart	HDX (Halbduplex)
Erinnerung	1360 Bit
Benutzerspeicher	17 Seiten * 80 Bit
Schreib-/Löschzyklen	100.000 Zyklen

Produkte für die Halbleiterindustrie

Superisys bietet RFID-Lösungen, die auf die spezifischen Anforderungen der Halbleiterindustrie zugeschnitten sind, einschließlich hochzuverlässiger RFID+SECS/GEM-Integrationslösungen . Mit dem Aufkommen von Industrie 4.0 und der Digitalisierung der Halbleiterfertigung wird die RFID-Technologie zur Kerninfrastruktur für die intelligente Fertigung und datengesteuerte Entscheidungsfindung von Waferfabriken.