Soluções RFID de semicondutores para fabricação inteligente

No ambiente altamente preciso e complexo da fabricação de semicondutores, a precisão da rastreabilidade das informações e a automação dos processos de produção afetam diretamente o rendimento e a eficiência. As operações manuais tradicionais (como acionar leituras de ID após o carregamento de materiais) não apenas tornam as operações mais lentas, mas também apresentam o risco de erros de dados. A tecnologia RFID oferece uma solução que aumenta a precisão do processo, melhora a rastreabilidade e automatiza etapas críticas na produção de semicondutores.

Desafios da indústria:

• Atraso de dados e erros devido a intervenção manual.

• Rastreabilidade incompleta das informações de processamento do wafer, afetando a otimização do processo e a análise de anomalias.

• Falta de protocolos de comunicação padrão entre dispositivos, levando a silos de informações e ineficiências.

Solução Superisys: Sistema de rastreabilidade inteligente RFID de semicondutores

Superisys integra protocolos padrão SECS/SEMI com alto desempenho Tecnologia RFID para criar um link de dados totalmente automatizado para produção de wafer. Esta solução permite rastreabilidade em tempo real , transparência de dados e tomada de decisões inteligentes durante todo o processo de produção.

Processo de relatório automatizado:

1. Conecte RFID , módulos IO, sensores e luzes LED.

2. Coloque a caixa de wafer contendo cápsulas no LoadPort.

3. Assim que o sensor de pressão da máquina detecta a presença do wafer, o módulo IO aciona a entrada.

4. O controlador RFID detecta a entrada do módulo IO, lê o ID da cápsula e reporta os dados ao sistema EAP.

Aplicação RFID de rastreabilidade de informações de wafer

Nesta aplicação, chips RFID como o RF-LT-DR2B são instalados em LoadPort , com dispositivos controladores RFID ( RF-LC12097 ) e leitores RFID ( RF-LA5010 ) colocados em cada etapa do processo. À medida que os wafers passam por diferentes estágios, os leitores RFID identificam com precisão as informações associadas a cada wafer e as carregam no sistema ERP , garantindo integração perfeita com equipamentos de produção, transmissão transparente de dados e tratamento adequado de anomalias.

Solução RFID de baixa frequência:

• RF-LC12097 (Controlador RFID Industrial)

• RF-LA5010 (Leitor RFID Industrial)

• RF-LT-DR2B (Etiqueta RFID Industrial)

Objetivos da aplicação:

• Elimine a leitura manual de ID : em vez de acionar leituras de ID manualmente, o sistema RFID relata automaticamente a ID quando a caixa de wafer atinge a posição correta.

• Rastreabilidade completa do processo : O sistema captura dados do processo e os integra ao sistema ERP para rastreamento transparente da jornada de cada wafer.

Efeitos de aplicação:

• Melhore o rendimento : Minimize o erro humano e garanta 100% de rastreabilidade dos dados do processo.

• Reduza custos e melhore a eficiência : A automação total da coleta de dados reduz os custos de mão de obra e acelera os ciclos de produção.

• Permita a tomada de decisões inteligentes : painéis em tempo real auxiliam na otimização de processos e na manutenção preditiva.

Vantagens principais:

1. Identificação precisa e relatórios ativos
   A etiqueta RFID RF-LT-DR2B integrada no LoadPort reporta automaticamente a identificação quando a caixa de wafer está instalada. Isso substitui o acionamento manual e garante a precisão dos dados em tempo real com resposta em nível de milissegundos.

2. Rastreabilidade total do processo e fechamento de dados
   A coleta em tempo real de dados de processamento de wafer e a integração perfeita com sistemas MES/ERP criam um banco de dados abrangente de informações de produção. O sistema suporta rastreabilidade direta (estado atual do processo) e rastreabilidade reversa (caminhos históricos do processo), ajudando a localizar rapidamente a causa raiz das anomalias.

3. Integração padrão SECS/SEMI
   Ao usar protocolos SECS/GEM , o sistema permite uma comunicação eficiente entre equipamentos, quebrando silos de informações e melhorando a compatibilidade e escalabilidade do sistema. Isso garante a conformidade com os padrões internacionais SEMI , tornando a solução universalmente aplicável e confiável na indústria de semicondutores.

Protocolo/Padrão	Descrição	Padrão SEMI correspondente
SEM	Cartão Dedicado	SEMI E82 / E88 / ...
JÓIA	Ação no recebimento de mensagens	SEMI E30
SECS-II	Protocolo de Escrita	SEMI E5
SECS-I	HSMS	Produto SEMI E4 / E37 (E-Mail)

Modelo	RF-LC12097	RF-LC103145-2ANT	RF-LC103145-4ANT	RF-LC164210-16ANT
Frequência operacional	134,2 kHz	134,2 kHz	134,2 kHz	134,2 kHz
Modo de operação	HDX	HDX	HDX	HDX
Protocolo sem fio	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785
Tensão de energia	9~30VCC	9~30VCC	9~30VCC	9~30VCC
Corrente média	<0,2A@24VCC	<0,2A@24VCC	<0,2A@24VCC	<0,2A@24VCC
Indicadores LED	4 LEDs	4 LEDs em funcionamento + 2 LEDs de antena	4 LEDs em funcionamento + 4 LEDs de antena	4 LEDs em execução + 16 LEDs de antena
Portas de antena	1	2	4	16
Tipo de interface de antena	BNC Feminino	BNC Feminino	BNC Feminino	Bloco terminal 2P com passo de 5,0 mm
Interface de comunicação	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232
Protocolo de comunicação	SECS	SECS	SECS	SECS
Dimensões da forma	MODBUSTCP	MODBUSTCP	MODBUSTCP	MODBUSTCP
Tipo de montagem	MODBUS RTU	MODBUS RTU	MODBUS RTU	MODBUS RTU
Material da Habitação	Liga de alumínio	Liga de alumínio	Liga de alumínio	Liga de alumínio
Cor da caixa	Cinza	Preto	Preto	Preto
Temperatura operacional	-25°C ~ 70°C	-25°C ~ 70°C	-25°C ~ 70°C	-25°C ~ 70°C
Temperatura de armazenamento	-40°C ~ 85°C	-40°C ~ 85°C	-40°C ~ 85°C	-40°C ~ 85°C
Umidade	5% ~ 95% UR (sem condensação)	5% ~ 95% UR (sem condensação)	5% ~ 95% UR (sem condensação)	5% ~ 95% UR (sem condensação)
Imunidade à descarga eletrostática (SED)	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529
Conformidade com RoHS	2mm (f=5...29,5Hz)	2mm (f=5...29,5Hz)	2mm (f=5...29,5 Hz)	2 mm (f = 5...29,5 Hz)

Modelo de produto	RF-LA5010
Frequência operacional	134,2 kHz
Tipo de interface de antena	BNC Masculino
Tipo de cabo	Cabo coaxial
Comprimento do cabo	2 metros
Dimensões	50*28*10mm
Tipo de montagem	4 furos para parafusos M3
Material da Habitação	PC + ABS
Cor da caixa	Preto
Temperatura operacional	-25°C ~ 70°C
Temperatura de armazenamento	-25°C ~ 85°C
Umidade	5%~95% RH (sem condensação)
Classificação à prova d'água e à prova de poeira	IP67, EN 60529
Resistência à vibração	2 mm (f=5...29,5 Hz), EN 60068-2-6
Conformidade com RoHS	7gn (f=29,5...150Hz), EN 60068-2-6

Modelo de produto	RF-LA5010
Dimensões	3,85*32,2mm
Material da Habitação	Vidro
Classificação de proteção	IP68
Temperatura operacional	0°C ~ 70°C
Temperatura de armazenamento	-40°C ~ 125°C
Frequência operacional	134,2 kHz
Protocolo de interface aérea	ISO 11784, ISO 11785
Modo de operação	HDX (meio duplex)
Memória	1360 bits
Memória do usuário	17 páginas * 80 bits
Ciclos de Gravar/Apagar	100.000 ciclos

Produtos para a Indústria de Semicondutores

A Superisys fornece soluções RFID projetadas para atender às necessidades específicas da indústria de semicondutores, incluindo soluções de integração RFID+SECS/GEM de alta confiabilidade . Com a ascensão da Indústria 4.0 e a digitalização da fabricação de semicondutores, a tecnologia RFID está se tornando a infraestrutura central para a fabricação inteligente e a tomada de decisões baseada em dados das fábricas de wafer.