โซลูชัน RFID ของเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการผลิตอัจฉริยะ

ในสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำสูงและซับซ้อน ความถูกต้องของ การตรวจสอบย้อนกลับของข้อมูล และระบบอัตโนมัติของกระบวนการผลิตส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตและประสิทธิภาพ การดำเนินการด้วยตนเองแบบดั้งเดิม (เช่น การทริกเกอร์การอ่าน ID หลังจากโหลดวัสดุ) ไม่เพียงแต่ทำให้การทำงานช้าลง แต่ยังมีความเสี่ยงต่อข้อผิดพลาดของข้อมูลอีกด้วย เทคโนโลยี RFID นำเสนอโซลูชันที่ช่วยเพิ่มความแม่นยำของกระบวนการ ปรับปรุงการตรวจสอบย้อนกลับ และทำให้ขั้นตอนสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เป็นแบบอัตโนมัติ

ความท้าทายในอุตสาหกรรม:

• ความล่าช้าของข้อมูลและข้อผิดพลาด เนื่องจากการแทรกแซงด้วยตนเอง

• การตรวจสอบย้อนกลับ ที่ไม่สมบูรณ์ ส่งผลต่อการปรับกระบวนการให้เหมาะสมและการวิเคราะห์ความผิดปกติ ข้อมูลการประมวลผลเวเฟอร์

• ขาดโปรโตคอลการสื่อสารมาตรฐาน ระหว่างอุปกรณ์ นำไปสู่ไซโลข้อมูลและความไร้ประสิทธิภาพ

โซลูชัน Superisys: ระบบตรวจสอบย้อนกลับอัจฉริยะ RFID ของเซมิคอนดักเตอร์

Superisys ผสานรวม โปรโตคอลมาตรฐาน SECS/SEMI เข้ากับประสิทธิภาพสูง เทคโนโลยี RFID เพื่อสร้างการเชื่อมโยงข้อมูลอัตโนมัติเต็มรูปแบบสำหรับการผลิตแผ่นเวเฟอร์ โซลูชันนี้ช่วยให้สามารถ ตรวจสอบย้อนกลับได้แบบเรียลไทม์ ความโปร่งใสของข้อมูล และการตัดสินใจอย่างชาญฉลาดตลอดกระบวนการผลิต

กระบวนการรายงานอัตโนมัติ:

1. เชื่อมต่อ RFID , โมดูล IO, เซ็นเซอร์ และไฟ LED

2. วางกล่องเวเฟอร์ที่บรรจุแคปซูลไว้บน LoadPort.

3. เมื่อเซ็นเซอร์ความดันของเครื่องตรวจพบว่ามีแผ่นเวเฟอร์อยู่ โมดูล IO จะทริกเกอร์อินพุต

4. ตัว ควบคุม RFID ตรวจจับอินพุตจากโมดูล IO อ่าน ID แคปซูล และรายงานข้อมูลไปยัง ระบบ EAP.

แอปพลิเคชัน RFID การตรวจสอบย้อนกลับข้อมูลเวเฟอร์

ในแอปพลิเคชันนี้ มีการติดตั้ง ชิป RFID เช่น RF-LT-DR2B บน อุปกรณ์ LoadPort โดยมี ตัวควบคุม RFID ( RF-LC12097 ) และ เครื่องอ่าน RFID ( RF-LA5010 ) วางไว้ในแต่ละขั้นตอนของกระบวนการ เมื่อแผ่นเวเฟอร์เคลื่อนที่ผ่านขั้นตอนต่างๆ เครื่องอ่าน RFID จะระบุข้อมูลที่เกี่ยวข้องกับแต่ละแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างแม่นยำ และอัปโหลดไปยัง ระบบ ERP เพื่อให้มั่นใจว่าสามารถบูรณาการเข้ากับอุปกรณ์การผลิตได้อย่างราบรื่น การส่งข้อมูลที่โปร่งใส และการจัดการความผิดปกติที่เหมาะสม

โซลูชัน RFID ความถี่ต่ำ:

• RF-LC12097 (ตัวควบคุม RFID อุตสาหกรรม)

• RF-LA5010 (เครื่องอ่าน RFID อุตสาหกรรม)

• RF-LT-DR2B (แท็ก RFID อุตสาหกรรม)

วัตถุประสงค์การสมัคร:

• กำจัดการอ่าน ID ด้วยตนเอง : แทนที่จะเรียกใช้การอ่าน ID ด้วยตนเอง ระบบ RFID จะรายงาน ID โดยอัตโนมัติเมื่อกล่องเวเฟอร์ถึงตำแหน่งที่ถูกต้อง

• การตรวจสอบย้อนกลับกระบวนการอย่างสมบูรณ์ : ระบบจะรวบรวมข้อมูลกระบวนการและรวมเข้ากับระบบ ERP เพื่อการติดตามการเดินทางของเวเฟอร์ทุกรายการอย่างโปร่งใส

ผลการใช้งาน:

• ปรับปรุงผลผลิต : ลดข้อผิดพลาดของมนุษย์และรับประกันความสามารถในการติดตามข้อมูลกระบวนการได้ 100%

• ลดต้นทุนและปรับปรุงประสิทธิภาพ : การรวบรวมข้อมูลอัตโนมัติเต็มรูปแบบช่วยลดต้นทุนแรงงานและเร่งวงจรการผลิตให้เร็วขึ้น

• เปิดใช้งานการตัดสินใจอย่างชาญฉลาด : แดชบอร์ดแบบเรียลไทม์ช่วยใน การเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ และการบำรุงรักษาเชิงคาดการณ์

ข้อดีหลัก:

1. การระบุที่แม่นยำและการรายงานที่ใช้งานอยู่ แท็ก RFID
   RF -LT-DR2B ที่รวมอยู่ใน LoadPort จะรายงาน ID โดยอัตโนมัติเมื่อมีกล่องเวเฟอร์เข้าที่ ซึ่งมาแทนที่การทริกเกอร์ด้วยตนเองและรับรองความถูกต้องของข้อมูลแบบเรียลไทม์ด้วยการตอบสนองระดับมิลลิวินาที

2. การตรวจสอบย้อนกลับกระบวนการแบบเต็มและการปิดข้อมูล
   การรวบรวมข้อมูลการประมวลผลเวเฟอร์แบบเรียลไทม์และการบูรณาการอย่างราบรื่นกับ ระบบ MES/ERP จะสร้างฐานข้อมูลข้อมูลการผลิตที่ครอบคลุม ระบบรองรับทั้ง การตรวจสอบย้อนกลับไปข้างหน้า (สถานะกระบวนการปัจจุบัน) และ การตรวจสอบย้อนกลับ (เส้นทางกระบวนการในอดีต) ช่วยให้ค้นหาสาเหตุที่แท้จริงของความผิดปกติได้อย่างรวดเร็ว

3. การรวมมาตรฐาน SECS/SEMI
   ด้วยการใช้ โปรโตคอล SECS/GEM ระบบช่วยให้เกิดการสื่อสารที่มีประสิทธิภาพระหว่างอุปกรณ์ ทำลายไซโลข้อมูล และปรับปรุงความเข้ากันได้และความสามารถในการปรับขนาดของระบบ สิ่งนี้ทำให้มั่นใจได้ถึงการปฏิบัติตาม มาตรฐานสากลของ SEMI ทำให้โซลูชันนี้สามารถใช้งานได้ในระดับสากลและเชื่อถือได้ภายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

โปรโตคอล/	คำอธิบาย มาตรฐาน	สอดคล้องกับมาตรฐาน SEMI
เอสอีเอ็ม	บัตรเฉพาะ	กึ่ง E82 / E88 / ...
อัญมณี	การดำเนินการกับการรับข้อความ	กึ่ง E30
วินาที-II	การเขียนโปรโตคอล	กึ่ง E5
ก.ล.ต.-I	HSMS	SEMI E4 / E37 (อีเมล)

รุ่นสินค้า	RF-LC12097	RF-LC103145-2ANT	RF-LC103145-4ANT	RF-LC164210-16ANT
ความถี่ในการทำงาน	134.2กิโลเฮิร์ตซ์	134.2กิโลเฮิร์ตซ์	134.2กิโลเฮิร์ตซ์	134.2กิโลเฮิร์ตซ์
โหมดการทำงาน	HDX	HDX	HDX	HDX
โปรโตคอลไร้สาย	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785
แรงดันไฟฟ้า	9~30VDC	9~30VDC	9~30VDC	9~30VDC
กระแสไฟเฉลี่ย	<0.2A@24VDC	<0.2A@24VDC	<0.2A@24VDC	<0.2A@24VDC
ไฟ LED แสดงสถานะ	ไฟ LED 4 ดวง	ไฟ LED ทำงาน 4 ดวง + LED เสาอากาศ 2 ดวง	ไฟ LED ทำงาน 4 ดวง + LED เสาอากาศ 4 ดวง	ไฟ LED ทำงาน 4 ดวง + LED เสาอากาศ 16 ดวง
พอร์ตเสาอากาศ	1	2	4	16
ประเภทอินเทอร์เฟซเสาอากาศ	บีเอ็นซี หญิง	บีเอ็นซี หญิง	บีเอ็นซี หญิง	เทอร์มินอลบล็อคระยะพิทช์ 2P 5.0 มม
อินเตอร์เฟซการสื่อสาร	อีเธอร์เน็ต, RS-485, RS-232	อีเธอร์เน็ต, RS-485, RS-232	อีเธอร์เน็ต, RS-485, RS-232	อีเธอร์เน็ต, RS-485, RS-232
โปรโตคอลการสื่อสาร	ก.ล.ต	ก.ล.ต	ก.ล.ต	ก.ล.ต
ขนาดรูปร่าง	MODBUS TCP	MODBUS TCP	MODBUS TCP	MODBUS TCP
ประเภทการติดตั้ง	MODBUS RTU	MODBUS RTU	MODBUS RTU	MODBUS RTU
วัสดุที่อยู่อาศัย	อลูมิเนียมอัลลอยด์	อลูมิเนียมอัลลอยด์	อลูมิเนียมอัลลอยด์	อลูมิเนียมอัลลอยด์
สีที่อยู่อาศัย	สีเทา	สีดำ	สีดำ	สีดำ
อุณหภูมิในการทำงาน	-25°ซ ~ 70°ซ	-25°ซ ~ 70°ซ	-25°ซ ~ 70°ซ	-25°ซ ~ 70°ซ
อุณหภูมิในการจัดเก็บ	-40°ซ ~ 85°ซ	-40°ซ ~ 85°ซ	-40°ซ ~ 85°ซ	-40°ซ ~ 85°ซ
ความชื้น	5%~95%RH (ไม่ควบแน่น)	5%~95%RH (ไม่ควบแน่น)	5%~95%RH (ไม่ควบแน่น)	5%~95%RH (ไม่ควบแน่น)
ภูมิคุ้มกันปล่อยประจุไฟฟ้าสถิต (SED)	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529
การปฏิบัติตาม RoHS	2 มม. (f=5...29.5Hz)	2 มม. (f=5...29.5Hz)	2 มม. (f=5...29.5Hz)	2 มม. (f=5...29.5Hz)

รุ่นผลิตภัณฑ์	RF-LA5010
ความถี่ในการทำงาน	134.2กิโลเฮิร์ตซ์
ประเภทอินเทอร์เฟซเสาอากาศ	บีเอ็นซี ชาย
ประเภทสายเคเบิล	สายโคแอกเซียล
ความยาวสายเคเบิล	2 เมตร
ขนาด	50*28*10 มม
ประเภทการติดตั้ง	รูสกรู M3 4 รู
วัสดุที่อยู่อาศัย	พีซี + เอบีเอส
สีที่อยู่อาศัย	สีดำ
อุณหภูมิในการทำงาน	-25°ซ ~ 70°ซ
อุณหภูมิในการจัดเก็บ	-25°ซ ~ 85°ซ
ความชื้น	5%~95% RH (ไม่ควบแน่น)
ระดับกันน้ำและกันฝุ่น	IP67, EN 60529
ความต้านทานการสั่นสะเทือน	2 มม. (f=5...29.5Hz), EN 60068-2-6
การปฏิบัติตาม RoHS	7gn (f=29.5...150Hz), EN 60068-2-6

รุ่นผลิตภัณฑ์	RF-LA5010
ขนาด	3.85*32.2 มม
วัสดุที่อยู่อาศัย	กระจก
ระดับการป้องกัน	IP68
อุณหภูมิในการทำงาน	0°ซ ~ 70°ซ
อุณหภูมิในการจัดเก็บ	-40°ซ ~ 125°ซ
ความถี่ในการทำงาน	134.2 กิโลเฮิรตซ์
โปรโตคอลอินเทอร์เฟซทางอากาศ	ISO 11784, ISO 11785
โหมดการทำงาน	HDX (ฮาล์ฟดูเพล็กซ์)
หน่วยความจำ	1360 บิต
หน่วยความจำผู้ใช้	17 หน้า * 80 บิต
เขียน/ลบวงจร	100,000 รอบ

ผลิตภัณฑ์สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

Superisys นำเสนอ โซลูชัน RFID ที่ออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึง การรวม RFID+SECS/GEM ที่มีความน่าเชื่อถือสูง โซลูชัน ด้วยการเพิ่มขึ้นของ อุตสาหกรรม 4.0 และการเปลี่ยนแปลงทางดิจิทัลของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เทคโนโลยี RFID กำลังกลายเป็นโครงสร้างพื้นฐานหลักสำหรับการผลิตอัจฉริยะของโรงงานผลิตแผ่นเวเฟอร์และการตัดสินใจที่ขับเคลื่อนด้วยข้อมูล