Félvezető RFID megoldások az intelligens gyártáshoz

A félvezetőgyártás rendkívül precíz és összetett környezetében az információk nyomon követhetőségének pontossága és a gyártási folyamatok automatizálása közvetlenül befolyásolja a hozamot és a hatékonyságot. A hagyományos kézi műveletek (például az azonosítók kiolvasásának elindítása az anyagok betöltése után) nemcsak lelassítják a műveleteket, hanem az adathibák kockázatát is hordozzák. Az RFID technológia olyan megoldást kínál, amely növeli a folyamatok pontosságát, javítja a nyomon követhetőséget és automatizálja a félvezetőgyártás kritikus lépéseit.

Iparági kihívások:

• adatkésések és hibák . Kézi beavatkozás miatti

• hiányos nyomon követhetősége , ami befolyásolja a folyamatoptimalizálást és az anomáliaelemzést. Az ostyafeldolgozási információk

• Szabványos kommunikációs protokollok hiánya az eszközök között, ami információs silókhoz és a hatékonyság hiányához vezet.

Superisys megoldás: Félvezető RFID intelligens nyomonkövetési rendszer

A Superisys integrálja a SECS/SEMI szabványos protokollokat nagy teljesítménnyel RFID technológia egy teljesen automatizált adatkapcsolat létrehozásához az ostyagyártáshoz. Ez a megoldás valós idejű nyomon követhetőséget , adatok átláthatóságát és intelligens döntéshozatalt tesz lehetővé a gyártási folyamat során.

Automatizált jelentéskészítési folyamat:

1. Csatlakoztasson RFID- , IO-modulokat, érzékelőket és LED-lámpákat.

2. Helyezze a kapszulákat tartalmazó ostyadobozt a LoadPortra.

3. Amint a gép nyomásérzékelője észleli az ostya jelenlétét, az IO modul elindítja a bemenetet.

4. Az RFID vezérlő észleli az IO modul bemenetét, beolvassa a kapszula azonosítóját, és jelentést küld az EAP rendszernek..

Wafer Information Nyomon követhetőség RFID alkalmazás

Ebben az alkalmazásban az RFID-chipeket , például az RF-LT-DR2B-t telepítik a LoadPort eszközökre , RFID-vezérlőkkel ( RF-LC12097 ) és RFID-olvasókkal ( RF-LA5010 ) minden folyamatlépésben. Ahogy az ostyák különböző szakaszokon haladnak keresztül, az RFID-olvasók pontosan azonosítják az egyes lapkákhoz tartozó információkat, és feltöltik azokat az ERP-rendszerbe , biztosítva a gyártási berendezésekkel való zökkenőmentes integrációt, az átlátható adatátvitelt és a megfelelő anomáliák kezelését.

Alacsony frekvenciájú RFID megoldás:

• RF-LC12097 (ipari RFID-vezérlő)

• RF-LA5010 (ipari RFID olvasó)

• RF-LT-DR2B (ipari RFID címke)

Pályázati célok:

• A kézi azonosító leolvasás megszüntetése : Ahelyett, hogy manuálisan indítaná az azonosító leolvasást, az RFID rendszer automatikusan jelenti az azonosítót, amikor az ostyadoboz eléri a megfelelő pozíciót.

• Teljes folyamatkövethetőség : A rendszer rögzíti a folyamatadatokat, és integrálja azokat az ERP rendszerbe, így átláthatóan követheti minden szelet útját.

Alkalmazási hatások:

• A hozam javítása : Minimalizálja az emberi hibákat, és biztosítsa a folyamatadatok 100%-os nyomon követhetőségét.

• Csökkentse a költségeket és javítsa a hatékonyságot : Az adatgyűjtés teljes automatizálása csökkenti a munkaerőköltségeket és felgyorsítja a gyártási ciklusokat.

• Intelligens döntéshozatal engedélyezése : A valós idejű irányítópultok segítik a folyamatok optimalizálását és az előrejelző karbantartást.

Alapvető előnyei:

1. Pontos azonosítás és aktív jelentés
   A RF-LT-DR2B RFID címke integrált LoadPortba automatikusan jelenti az azonosítót, amikor az ostyadoboz a helyére került. Ez felváltja a kézi aktiválást, és ezredmásodperces szintű válaszadás mellett biztosítja a valós idejű adatok pontosságát.

2. Teljes folyamat nyomon követhetőség és adatzárás
   Az ostyafeldolgozási adatok valós idejű gyűjtése és a MES/ERP rendszerekkel való zökkenőmentes integráció átfogó termelési információs adatbázist hoz létre. A rendszer támogatja az előre (jelenlegi folyamatállapot) és a fordított nyomon követhetőséget (történelmi folyamati útvonalak) egyaránt, segítve az anomáliák kiváltó okának gyors feltárását.

3. SECS/SEMI szabványos integráció
   használatával A SECS/GEM protokollok a rendszer hatékony kommunikációt tesz lehetővé a berendezések között, lebontja az információs silókat, és javítja a rendszer kompatibilitását és méretezhetőségét. Ez biztosítja a SEMI nemzetközi szabványainak való megfelelést , így a megoldás univerzálisan alkalmazható és megbízható a félvezetőiparban.

Protokoll/Szabvány	leírása	Megfelelő SEMI szabvány
SEM	Dedikált kártya	SEMI E82 / E88 / ...
DRÁGAKŐ	Művelet az üzenetek fogadásával kapcsolatban	SEMI E30
SECS-II	Írási protokoll	SEMI E5
SECS-I	HSMS	SEMI E4 / E37 (e-mail)

Termékmodell	RF-LC12097	RF-LC103145-2ANT	RF-LC103145-4ANT	RF-LC164210-16ANT
Működési frekvencia	134,2 kHz	134,2 kHz	134,2 kHz	134,2 kHz
Üzemmód	HDX	HDX	HDX	HDX
Vezeték nélküli protokoll	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785	ISO 11784, ISO 11785
Tápfeszültség	9-30VDC	9-30VDC	9-30VDC	9-30VDC
Átlagos áram	<0,2A@24VDC	<0,2A@24VDC	<0,2A@24VDC	<0,2A@24VDC
LED kijelzők	4 LED	4 működő LED + 2 antenna LED	4 működő LED + 4 antenna LED	4 működő LED + 16 antenna LED
Antenna portok	1	2	4	16
Antenna interfész típusa	BNC nő	BNC nő	BNC nő	2P 5,0 mm-es sorkapocs
Kommunikációs interfész	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232
Kommunikációs protokoll	SECS	SECS	SECS	SECS
Alak méretei	MODBUS TCP	MODBUS TCP	MODBUS TCP	MODBUS TCP
Szerelés típusa	MODBUS RTU	MODBUS RTU	MODBUS RTU	MODBUS RTU
Ház anyaga	Alumínium ötvözet	Alumínium ötvözet	Alumínium ötvözet	Alumínium ötvözet
Ház színe	Szürke	Fekete	Fekete	Fekete
Üzemi hőmérséklet	-25°C ~ 70°C	-25°C ~ 70°C	-25°C ~ 70°C	-25°C ~ 70°C
Tárolási hőmérséklet	-40°C ~ 85°C	-40°C ~ 85°C	-40°C ~ 85°C	-40°C ~ 85°C
Nedvesség	5% ~ 95% relatív páratartalom (nem kondenzálódó)	5% ~ 95% relatív páratartalom (nem kondenzálódó)	5% ~ 95% relatív páratartalom (nem kondenzálódó)	5% ~ 95% relatív páratartalom (nem kondenzálódó)
Elektrosztatikus kisülés elleni védelem (SED)	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529
RoHS megfelelőség	2 mm (f=5...29,5 Hz)	2 mm (f=5...29,5 Hz)	2 mm (f=5...29,5 Hz)	2mm (f=5...29,5Hz)

Termékmodell	RF-LA5010
Működési frekvencia	134,2 kHz
Antenna interfész típusa	BNC férfi
Kábel típusa	Koaxiális kábel
Kábel hossza	2 méter
Méretek	50 * 28 * 10 mm
Szerelés típusa	4 db M3-as csavarlyuk
Ház anyaga	PC + ABS
Ház színe	Fekete
Üzemi hőmérséklet	-25°C ~ 70°C
Tárolási hőmérséklet	-25°C ~ 85°C
Nedvesség	5% ~ 95% relatív páratartalom (nem lecsapódó)
Vízálló és porálló minősítés	IP67, EN 60529
Rezgésállóság	2mm (f=5...29,5Hz), EN 60068-2-6
RoHS megfelelőség	7gn (f=29,5...150Hz), EN 60068-2-6

termékmodell	RF-LA5010
Méretek	3,85 * 32,2 mm
Ház anyaga	Üveg
Védelmi besorolás	IP68
Üzemi hőmérséklet	0°C ~ 70°C
Tárolási hőmérséklet	-40°C ~ 125°C
Működési frekvencia	134,2 kHz
Air Interface Protocol	ISO 11784, ISO 11785
Üzemmód	HDX (félduplex)
Memória	1360 bit
Felhasználói memória	17 oldal * 80 bit
Ciklusok írása/törlése	100 000 ciklus

Termékek a félvezetőipar számára

A Superisys kínál RFID-megoldásokat a félvezetőipar speciális igényeinek kielégítésére, beleértve a nagy megbízhatóságú RFID+SECS/GEM integrációs megoldásokat . térnyerésével Az Ipar 4.0 és a félvezetőgyártás digitalizálásával az RFID technológia az ostyagyárak intelligens gyártásának és adatközpontú döntéshozatalának alapvető infrastruktúrájává válik.