Полупроводниковые RFID-решения для интеллектуального производства

В высокоточной и сложной среде производства полупроводников точность отслеживания информации и автоматизация производственных процессов напрямую влияют на производительность и эффективность. Традиционные ручные операции (например, запуск считывания идентификаторов после загрузки материалов) не только замедляют операции, но и несут риск ошибок данных. Технология RFID предлагает решение, которое повышает точность процесса, улучшает отслеживаемость и автоматизирует важные этапы производства полупроводников.

Проблемы отрасли:

• Задержка данных и ошибки из-за ручного вмешательства.

• Неполная отслеживаемость информации об обработке пластин, что влияет на оптимизацию процесса и анализ аномалий.

• Отсутствие стандартных протоколов связи между устройствами приводит к разрознению информации и снижению эффективности.

Решение Superisys: интеллектуальная система отслеживания полупроводниковых RFID-технологий

Superisys объединяет стандартные протоколы SECS/SEMI с высокопроизводительными Технология RFID для создания полностью автоматизированного канала передачи данных для производства пластин. Это решение обеспечивает отслеживание в реальном времени , прозрачность данных и принятие разумных решений на протяжении всего производственного процесса.

Автоматизированный процесс отчетности:

1. Подключите модули RFID , ввода-вывода, датчики и светодиодные фонари.

2. Поместите вафельную коробку с капсулами на LoadPort..

3. Как только датчик давления аппарата обнаруживает наличие пластины, модуль ввода-вывода запускает входной сигнал.

4. Контроллер RFID обнаруживает входной сигнал от модуля ввода-вывода, считывает идентификатор капсулы и передает данные в систему EAP..

RFID-приложение для отслеживания информации о пластинах

В этом приложении RFID-чипы , такие как RF-LT-DR2B, устанавливаются на LoadPort , а устройства RFID-контроллеры ( RF-LC12097 ) и RFID-считыватели ( RF-LA5010 ) размещаются на каждом этапе процесса. По мере прохождения пластин через различные этапы считыватели RFID точно идентифицируют информацию, связанную с каждой пластиной, и загружают ее в систему ERP , обеспечивая плавную интеграцию с производственным оборудованием, прозрачную передачу данных и правильную обработку аномалий.

Низкочастотное RFID-решение:

• RF-LC12097 (Промышленный RFID-контроллер)

• RF-LA5010 (Промышленный RFID-считыватель)

• RF-LT-DR2B (промышленная RFID-метка)

Цели применения:

• Устранение ручного считывания идентификатора : вместо запуска считывания идентификатора вручную система RFID автоматически сообщает идентификатор, когда коробка для пластин достигает правильного положения.

• Полная отслеживаемость процесса : система собирает данные процесса и интегрирует их с системой ERP для прозрачного отслеживания пути каждой пластины.

Эффекты применения:

• Повышение производительности : сведите к минимуму человеческие ошибки и обеспечьте 100% отслеживаемость технологических данных.

• Сократите затраты и повысьте эффективность . Полная автоматизация сбора данных снижает трудозатраты и ускоряет производственные циклы.

• Обеспечьте разумное принятие решений : информационные панели в реальном времени помогают оптимизировать процессы и проводить профилактическое обслуживание.

Основные преимущества:

1. Точная идентификация и активная отчетность RFID-метка
   RF -LT-DR2B , встроенная в LoadPort , автоматически сообщает идентификатор, когда коробка для пластин находится на месте. Это заменяет ручной запуск и обеспечивает точность данных в реальном времени с откликом на уровне миллисекунд.

2. Полное отслеживание процесса и закрытие данных
   Сбор данных об обработке пластин в режиме реального времени и плавная интеграция с системами MES/ERP создают комплексную базу данных производственной информации. Система поддерживает как прямую прослеживаемость (текущее состояние процесса), так и обратную прослеживаемость (исторические пути процессов), помогая быстро обнаружить основную причину аномалий.

3. Интеграция стандартов SECS/SEMI.
   Используя протоколы SECS/GEM , система обеспечивает эффективную связь между оборудованием, устраняя разрозненность информации и улучшая совместимость и масштабируемость системы. Это обеспечивает соответствие международным стандартам SEMI , что делает решение универсальным и надежным в полупроводниковой промышленности.

протокола/стандарта	Описание	Соответствует стандарту SEMI
СЭМ	Выделенная карта	ПОЛУ Е82/Е88/...
драгоценный камень	Действия при получении сообщений	ПОЛУ Е30
СЕКС-II	Написание протокола	ПОЛУ E5
СЕКС-I	HSMS	SEMI E4/E37 (электронная почта)

Модель продукта	RF-LC12097	RF-LC103145-2ANT	RF-LC103145-4ANT	RF-LC164210-16ANT
Рабочая частота	134,2 кГц	134,2 кГц	134,2 кГц	134,2 кГц
Режим работы	HDX	HDX	HDX	HDX
Беспроводной протокол	ИСО 11784, ИСО 11785	ИСО 11784, ИСО 11785	ИСО 11784, ИСО 11785	ИСО 11784, ИСО 11785
Напряжение питания	9~30В постоянного тока	9~30В постоянного тока	9~30В постоянного тока	9~30В постоянного тока
Средний ток	<0,2 А при 24 В постоянного тока	<0,2 А при 24 В постоянного тока	<0,2 А при 24 В постоянного тока	<0,2 А при 24 В постоянного тока
Светодиодные индикаторы	4 светодиода	4 работающих светодиода + 2 светодиода антенны	4 работающих светодиода + 4 светодиода антенны	4 работающих светодиода + 16 антенных светодиодов
Антенные порты	1	2	4	16
Тип интерфейса антенны	BNC Женский	BNC Женский	BNC Женский	2P клеммная колодка с шагом 5,0 мм
Коммуникационный интерфейс	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232
Протокол связи	СЕКС	СЕКС	СЕКС	СЕКС
Размеры формы	МОДБУС TCP	МОДБУС TCP	МОДБУС TCP	МОДБУС TCP
Тип монтажа	МОДБУС РТУ	МОДБУС РТУ	МОДБУС РТУ	МОДБУС РТУ
Материал корпуса	Алюминиевый сплав	Алюминиевый сплав	Алюминиевый сплав	Алюминиевый сплав
Цвет корпуса	Серый	Черный	Черный	Черный
Рабочая температура	-25°С ~ 70°С	-25°С ~ 70°С	-25°С ~ 70°С	-25°С ~ 70°С
Температура хранения	-40°С ~ 85°С	-40°С ~ 85°С	-40°С ~ 85°С	-40°С ~ 85°С
Влажность	5%~95% относительной влажности (без конденсации)	5%~95% относительной влажности (без конденсации)	5%~95% относительной влажности (без конденсации)	5%~95% относительной влажности (без конденсации)
Устойчивость к электростатическим разрядам (SED)	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529
Соответствие RoHS	2 мм (f=5...29,5 Гц)	2 мм (f=5...29,5 Гц)	2 мм (f=5...29,5 Гц)	2 мм (f=5...29,5 Гц)

Модель продукта	RF-LA5010
Рабочая частота	134,2 кГц
Тип интерфейса антенны	BNC Мужской
Тип кабеля	Коаксиальный кабель
Длина кабеля	2 метра
Размеры	50*28*10 мм
Тип монтажа	4 отверстия под винты M3
Материал корпуса	ПК + АБС
Цвет корпуса	Черный
Рабочая температура	-25°С ~ 70°С
Температура хранения	-25°С ~ 85°С
Влажность	5–95 % относительной влажности (без конденсации)
Рейтинг водонепроницаемости и пыленепроницаемости	IP67, EN 60529
Устойчивость к вибрации	2 мм (f=5...29,5 Гц), EN 60068-2-6
Соответствие RoHS	7gn (f=29,5...150 Гц), EN 60068-2-6

Модель продукта	RF-LA5010
Размеры	3,85*32,2 мм
Материал корпуса	Стекло
Рейтинг защиты	IP68
Рабочая температура	0°С ~ 70°С
Температура хранения	-40°С ~ 125°С
Рабочая частота	134,2 кГц
Протокол воздушного интерфейса	ИСО 11784, ИСО 11785
Режим работы	HDX (полудуплекс)
Память	1360 бит
Пользовательская память	17 страниц * 80 бит
Циклы записи/стирания	100 000 циклов

Продукция для полупроводниковой промышленности

Superisys предлагает решения RFID , предназначенные для удовлетворения конкретных потребностей полупроводниковой промышленности, включая высоконадежные интеграционные решения RFID+SECS/GEM . С развитием Индустрии 4.0 и цифровизацией производства полупроводников технология RFID становится основной инфраструктурой для интеллектуального производства пластин и принятия решений на основе данных.