Solutions RFID à semi-conducteurs pour la fabrication intelligente

Dans l’environnement hautement précis et complexe de la fabrication de semi-conducteurs, l’exactitude de la traçabilité des informations et l’automatisation des processus de production affectent directement le rendement et l’efficacité. Les opérations manuelles traditionnelles (telles que le déclenchement de lectures d'ID après le chargement de matériaux) non seulement ralentissent les opérations, mais comportent également un risque d'erreurs de données. La technologie RFID offre une solution qui améliore la précision des processus, améliore la traçabilité et automatise les étapes critiques de la production de semi-conducteurs.

Défis de l'industrie :

• Retard de données et erreurs dues à une intervention manuelle.

• Traçabilité incomplète des informations sur le traitement des plaquettes, affectant l'optimisation du processus et l'analyse des anomalies.

• Absence de protocoles de communication standard entre les appareils, entraînant des silos d'informations et des inefficacités.

Solution Superisys : système de traçabilité intelligent RFID pour semi-conducteurs

Superisys intègre les protocoles standards SECS/SEMI avec des performances élevées Technologie RFID pour créer une liaison de données entièrement automatisée pour la production de plaquettes. Cette solution permet une traçabilité en temps réel , la transparence des données et une prise de décision intelligente tout au long du processus de production.

Processus de reporting automatisé :

1. Connectez les modules RFID, IO, les capteurs et les lumières LED.

2. Placez la boîte à plaquettes contenant les capsules sur le LoadPort.

3. Une fois que le capteur de pression de la machine détecte la présence de la plaquette, le module IO déclenche l'entrée.

4. Le contrôleur RFID détecte l'entrée du module IO, lit l'ID de la capsule et rapporte les données au système EAP..

Application RFID de traçabilité des informations sur les plaquettes

Dans cette application, des puces RFID telles que RF-LT-DR2B sont installées sur les appareils LoadPort , avec des contrôleurs RFID ( RF-LC12097 ) et des lecteurs RFID ( RF-LA5010 ) placés à chaque étape du processus. Au fur et à mesure que les tranches franchissent différentes étapes, les lecteurs RFID identifient avec précision les informations associées à chaque tranche et les téléchargent dans le système ERP , garantissant ainsi une intégration transparente avec les équipements de production, une transmission transparente des données et une gestion appropriée des anomalies.

Solution RFID basse fréquence :

• RF-LC12097 (contrôleur RFID industriel)

• RF-LA5010 (lecteur RFID industriel)

• RF-LT-DR2B (étiquette RFID industrielle)

Objectifs de l'application :

• Éliminez la lecture manuelle de l'ID : au lieu de déclencher manuellement les lectures d'ID, le système RFID signale automatiquement l'ID lorsque la boîte de plaquettes atteint la position correcte.

• Traçabilité complète du processus : le système capture les données du processus et les intègre au système ERP pour un suivi transparent du parcours de chaque plaquette.

Effets d'application :

• Améliorer le rendement : minimisez les erreurs humaines et assurez une traçabilité à 100 % des données de processus.

• Réduisez les coûts et améliorez l’efficacité : l’automatisation complète de la collecte de données réduit les coûts de main-d’œuvre et accélère les cycles de production.

• Permettez une prise de décision intelligente : les tableaux de bord en temps réel facilitent l’optimisation des processus et la maintenance prédictive.

Avantages principaux :

1. Identification précise et rapports actifs
   L' RF-LT-DR2B intégrée dans le étiquette RFID LoadPort signale automatiquement l'ID lorsque la boîte de plaquettes est en place. Cela remplace le déclenchement manuel et garantit la précision des données en temps réel avec une réponse au niveau de la milliseconde.

2. Traçabilité complète du processus et fermeture des données
   La collecte en temps réel des données de traitement des plaquettes et l'intégration transparente avec les systèmes MES/ERP créent une base de données complète d'informations sur la production. Le système prend en charge à la fois la traçabilité aval (état actuel du processus) et la traçabilité inverse (chemins de processus historiques), aidant ainsi à localiser rapidement la cause première des anomalies.

3. Intégration standard SECS/SEMI
   En utilisant les protocoles SECS/GEM , le système permet une communication efficace entre les équipements, éliminant les silos d'informations et améliorant la compatibilité et l'évolutivité du système. Cela garantit la conformité aux normes internationales SEMI , rendant la solution universellement applicable et fiable au sein de l'industrie des semi-conducteurs.

du protocole/de la norme	Description	Norme SEMI correspondante
MEB	Carte dédiée	SEMI-E82 / E88 / ...
GEMME	Action lors de la réception de messages	SEMI-E30
SECS-II	Protocole d'écriture	SEMI-E5
SECS-I	HSMS	SEMI E4 / E37 (E-Mail)

Modèle de produit	RF-LC12097	RF-LC103145-2ANT	RF-LC103145-4ANT	RF-LC164210-16ANT
Fréquence de fonctionnement	134,2 kHz	134,2 kHz	134,2 kHz	134,2 kHz
Mode de fonctionnement	HDX	HDX	HDX	HDX
Protocole sans fil	OIN 11784, OIN 11785	OIN 11784, OIN 11785	OIN 11784, OIN 11785	OIN 11784, OIN 11785
Tension d'alimentation	9 ~ 30 V CC	9 ~ 30 V CC	9 ~ 30 V CC	9 ~ 30 V CC
Courant moyen	<0,2A à 24VCC	<0,2A à 24VCC	<0,2A à 24VCC	<0,2A à 24VCC
Indicateurs LED	4 LED	4 LED de fonctionnement + 2 LED d'antenne	4 LED de fonctionnement + 4 LED d'antenne	4 LED de fonctionnement + 16 LED d'antenne
Ports d'antenne	1	2	4	16
Type d'interface d'antenne	BNC Femelle	BNC Femelle	BNC Femelle	Bornier à pas de 2P de 5,0 mm
Interface de communication	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232	Ethernet, RS-485, RS-232
Protocole de communication	SECS	SECS	SECS	SECS
Dimensions de la forme	MODBUS-TCP	MODBUS-TCP	MODBUS-TCP	MODBUS-TCP
Type de montage	MODBUS RTU	MODBUS RTU	MODBUS RTU	MODBUS RTU
Matériau du boîtier	Alliage d'aluminium	Alliage d'aluminium	Alliage d'aluminium	Alliage d'aluminium
Couleur du boîtier	Gris	Noir	Noir	Noir
Température de fonctionnement	-25°C ~ 70°C	-25°C ~ 70°C	-25°C ~ 70°C	-25°C ~ 70°C
Température de stockage	-40°C ~ 85°C	-40°C ~ 85°C	-40°C ~ 85°C	-40°C ~ 85°C
Humidité	5 % ~ 95 % HR (sans condensation)	5 % ~ 95 % HR (sans condensation)	5 % ~ 95 % HR (sans condensation)	5 % ~ 95 % HR (sans condensation)
Immunité aux décharges électrostatiques (SED)	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529	IP20, EN 60529
Conformité RoHS	2 mm (f=5...29,5 Hz)	2 mm (f=5...29,5 Hz)	2 mm (f=5...29,5 Hz)	2 mm (f=5...29,5 Hz)

Modèle de produit	RF-LA5010
Fréquence de fonctionnement	134,2 kHz
Type d'interface d'antenne	BNC mâle
Type de câble	Câble coaxial
Longueur du câble	2 mètres
Dimensions	50*28*10mm
Type de montage	4 trous de vis M3
Matériau du boîtier	PC + ABS
Couleur du boîtier	Noir
Température de fonctionnement	-25°C ~ 70°C
Température de stockage	-25°C ~ 85°C
Humidité	5 % ~ 95 % HR (sans condensation)
Indice d'étanchéité à l'eau et à la poussière	IP67, EN 60529
Résistance aux vibrations	2 mm (f=5...29,5 Hz), EN 60068-2-6
Conformité RoHS	7gn (f=29,5...150 Hz), EN 60068-2-6

Modèle de produit	RF-LA5010
Dimensions	3,85 * 32,2 millimètres
Matériau du boîtier	Verre
Indice de protection	IP68
Température de fonctionnement	0°C ~ 70°C
Température de stockage	-40°C ~ 125°C
Fréquence de fonctionnement	134,2 kHz
Protocole d'interface aérienne	OIN 11784, OIN 11785
Mode de fonctionnement	HDX (semi-duplex)
Mémoire	1360 bits
Mémoire utilisateur	17 pages * 80 bits
Cycles d'écriture/effacement	100 000 cycles

Produits pour l'industrie des semi-conducteurs

Superisys fournit des solutions RFID conçues pour répondre aux besoins spécifiques de l'industrie des semi-conducteurs, notamment des solutions d'intégration RFID+SECS/GEM de haute fiabilité . Avec l'essor de l'Industrie 4.0 et la numérisation de la fabrication de semi-conducteurs, la technologie RFID est en train de devenir l'infrastructure de base de la fabrication intelligente et de la prise de décision basée sur les données des usines de fabrication de plaquettes.